电子行业：民生证券-电子行业光刻机动态跟踪：国产ArF光刻机首台套突破，解读设备工艺参数-241010

- 国产ArF光刻机首台套成功突破，标志着国内在先进光刻技术上的重要进展，具备市场推广潜力。

- 光刻机的分辨率和套刻精度是制程节点的关键，国产设备在分辨率上与国际领先水平持平，但套刻精度仍有差距。

- 投资建议关注半导体设备及光刻机零部件相关企业，预计国产光刻机的技术突破将推动国内晶圆厂扩产，带动半导体设备行业需求增长。

**投资报告核心要点总结：** 1. **国产光刻机突破**：工信部推广国产首台（套）ArF光刻机，标志着国产KrF和ArF光刻机技术实现突破，具备市场推广能力。

2. **光刻机参数解读**： - **分辨率**：ArF光刻机可实现≤65nm分辨率，ArF浸没式可达38nm。

- **套刻精度**：套刻精度与分辨率共同决定可加工制程节点，国产ArF光刻机在分辨率上与ASML相同，但套刻精度仍有差距。

3. **关键子系统**：光源、光学系统和工件台是国产化的核心难点，目前主要被ASML和蔡司等外企垄断。

4. **投资建议**：关注国产半导体设备及光刻机零部件公司，如北方华创、中微公司、波长光电等，预计国产光刻机技术突破将促进国内晶圆厂扩产，带动半导体设备行业需求增长。

5. **风险提示**：研发进展不及预期、国产替代进展滞后及半导体行业周期性波动等风险因素需关注。

投资标的及推荐理由如下： ### 投资标的： 1. **半导体设备公司** - 北方华创 - 中微公司 - 拓荆科技 - 中科飞测 - 精测电子 - 芯源微 - 华海清科 2. **光刻机零部件公司** - 波长光电 - 茂莱光学 - 晶方科技 - 腾景科技 - 炬光科技 - 美埃科技 ### 推荐理由： - **技术突破**：国产ArF光刻机的首台套突破意味着国内在光刻机技术上取得了重要进展，有助于提升国内晶圆厂的制造能力。

- **市场需求增长**：随着国产光刻机技术的提升，预计将推动国内晶圆厂的扩产提速，从而带动整个半导体设备行业的需求增长。

- **关键瓶颈的解决**：先进光刻机是国产晶圆厂发展先进工艺制造的关键瓶颈，国产光刻机的进步将有助于打破这一瓶颈。

- **投资机会**：关注相关半导体设备和光刻机零部件公司，可能带来良好的投资回报。

### 风险提示： - 光刻机研发进展不及预期。

- 国产替代的导入速度低于预期。

- 半导体行业存在周期性波动风险。